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微橋結(jié)構(gòu)紅外探測器以及制造方法

882   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:27:45
一種微橋結(jié)構(gòu)紅外探測器,屬于微機電技術(shù)領(lǐng)域,包括:硅襯底,作為紅外探測器的讀出電路;金屬反射層,沉積在所述硅襯底之上;介質(zhì)層,沉積于金屬反射層的凹槽內(nèi),且該介質(zhì)層的高度與該金屬反射層的高度一致;犧牲層和用于作為釋放犧牲層保護的第一釋放保護層,沉積在所述介質(zhì)層和金屬反射層上,并光刻刻蝕形成通孔;銅或鎢橋墩,沉積在犧牲層的通孔內(nèi);金屬電極,沉積在銅或鎢橋墩及第一釋放保護層之上;敏感材料探測層,沉積在金屬電極和第一釋放保護層上。本發(fā)明大馬士革工藝制造Cu柱微橋結(jié)構(gòu),并引入化學機械拋光工藝(CMP)可以制造出平坦化的微橋平面,有利于后續(xù)工藝,改善性能。
聲明:
“微橋結(jié)構(gòu)紅外探測器以及制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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