本發(fā)明是在于提供一種以高精度評價硅基板制造工藝或裝置制造工藝中的金屬污染或結(jié)晶缺陷的硅基板的再結(jié)合壽命測定方法。本發(fā)明是在對硅基板的表面進行化學(xué)鈍化處理之后,測定再結(jié)合壽命的方法,從所述化學(xué)鈍化處理到所述再結(jié)合壽命的測定結(jié)束的期間,至少進行防護所述硅基板不受紫外線照射的紫外線防護處理。
聲明:
“硅基板的再結(jié)合壽命測定方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)