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非晶MgGaO薄膜的光伏探測器及其制備方法和應用

898 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 07:27:47

本發(fā)明涉及光伏探測技術領域，具體涉及一種非晶MgGaO薄膜的光伏探測器及其制備方法和應用，包括利用金屬有機化合物化學氣相沉積法使有機鎂化合物、有機鎵化合物和氧源在襯底的表面生長MgGaO薄膜；在MgGaO薄膜上形成叉指電極；在叉指電極上按壓In粒，得到MgGaO光伏探測器，使用金屬有機化合物化學氣相沉積法制備MgGaO薄膜，使MgGaO薄膜具有結晶質量高、不出現(xiàn)分相、吸收截止邊陡峭的優(yōu)點，解決了傳統(tǒng)的制備方法所制備的MgGaO薄膜晶體質量不高，缺陷態(tài)較多的問題。

聲明：

“非晶MgGaO薄膜的光伏探測器及其制備方法和應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)