本發(fā)明涉及一種用于制造包括基于氧化釩(VO
x)的敏感材料(15)的至少一個微測輻射熱計(10)的方法,所述敏感材料包括氮作為附加化學(xué)元素,所述方法包括以下步驟:i.確定附加化學(xué)元素(N)的非零有效量,基于該有效量,在溫度T
r下經(jīng)受暴露持續(xù)時間Δt
r的步驟的敏感材料(15)在環(huán)境溫度下的電阻率ρ
a|r大于或等于所述敏感材料(15)在環(huán)境溫度下的固有值ρ
a的50%;ii.將所述敏感材料(15)制成薄層,其附加化學(xué)元素(N)的量大于或等于之前確定的有效量,所述敏感材料是非晶的,并且具有1至30Ω.cm的電阻率;iii.在T
r溫度下將所述敏感材料(15)暴露持續(xù)時間Δt
r。
聲明:
“用于制造具有基于氧化釩的敏感材料的微測輻射熱計的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)