本發(fā)明公開了一種自洽驗(yàn)證差分光譜儀和測(cè)量方法,通過設(shè)置一非偏振分束器,一束光實(shí)現(xiàn)斜入射反射差分模塊測(cè)試,另一束光用來實(shí)現(xiàn)斜入射差分反射模塊測(cè)試,本方法可實(shí)現(xiàn)秒級(jí)的寬光譜差分反射信號(hào)和反射差分信號(hào)的同時(shí)測(cè)量,基于兩種測(cè)量信號(hào)建立相應(yīng)模型,分別迭代反演得到薄膜厚度參量,利用同一時(shí)刻的薄膜厚度參量必然唯一這一實(shí)際屬性,進(jìn)行自洽驗(yàn)證,提升測(cè)量精度,可廣泛應(yīng)用于納米薄膜的工業(yè)生長(zhǎng)領(lǐng)域的化學(xué)氣相沉積、分子束外延和旋涂等不同工藝的在線監(jiān)測(cè)應(yīng)用中。
聲明:
“自洽驗(yàn)證差分光譜儀及測(cè)量方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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