本發(fā)明提供了一種基于Pt/Ti/SiO2/Si襯底的寬波段薄膜型光電探測(cè)器的制備方法,其中包括:襯底的清洗,薄膜的生長(zhǎng),電極的制備。其特征在于采用濕化學(xué)法制備Mn-Co-Ni-O薄膜,選取醋酸錳、醋酸鈷、醋酸鎳為原料,以冰醋酸作溶劑,分別配制導(dǎo)電類型是n和p的前驅(qū)體溶液,然后使用勻膠機(jī)和快速退火爐來(lái)制備薄膜材料。采用本方法制備的探測(cè)器可以實(shí)現(xiàn)紫外-可見(jiàn)-紅外寬波段探測(cè)。
聲明:
“Pt/Ti/SiO2/Si襯底的寬波段薄膜型光電探測(cè)器的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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