本發(fā)明屬于光電器件及功能薄膜技術領域,公開一種hBN/BAlN異質結紫外探測器及其制備方法;所述hBN/BAlN異質結紫外探測器,包括:BAlN薄膜層,形成于襯底的上表面;hBN薄膜層,形成于所述BAlN薄膜的表面上,且覆蓋一半的BAlN薄膜;兩個電極,分別形成于BAlN薄膜和hBN薄膜表面上。本發(fā)明設計的紫外探測器具有對深紫外光更靈敏的特征,能實現波長250nm以下深紫外光的響應,同時具有良好的熱穩(wěn)定性、化學穩(wěn)定性以及抗輻射能力,可以在極端惡劣的環(huán)境下工作,可兼具自供電和柔性特點,應用場景更廣泛。
聲明:
“hBN/BAlN異質結紫外探測器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
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