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微型拉伸測量組件及其制作方法

1103 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 07:28:49

本發(fā)明公開了一種微型拉伸測量組件及其制作方法。該測量組件包括相互配合的固定平臺和移動平臺，固定平臺一端固定連接第一樣品平臺，移動平臺一端經(jīng)彈性元件連接一第二樣品平臺，在測量時樣品兩端分別與該第一、第二樣品平臺連接，該第二樣品平臺上還設有與設于第一樣品平臺上的第一對中標記配合的第二對中標記和位移標記；其制作方法為：取不銹鋼基片進行光刻、圖形化處理后，之后進行高溫烘烤和電化學刻蝕，即可得到目標產(chǎn)品。本發(fā)明器件結(jié)構簡單牢固，不易損壞，工藝簡便易操作，克服了當前微電鑄工藝需采用厚膠工藝及微結(jié)構平坦化技術的問題，以及避免了因微電鑄缺陷引起力學傳感器性能下降的問題，提高了器件對準精度，同時降低了制作成本。

聲明：

“微型拉伸測量組件及其制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)