一種化學(xué)機(jī)械拋光的方法包括:使基板的導(dǎo)電層與拋光墊接觸;將拋光液供應(yīng)到拋光墊;使基板與拋光墊之間產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng);在拋光導(dǎo)電層時(shí)用原位電磁感應(yīng)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)監(jiān)測(cè)基板以產(chǎn)生取決于導(dǎo)電層的厚度的信號(hào)值序列;以及基于信號(hào)值序列來確定導(dǎo)電層的厚度值序列。確定厚度值序列包括至少部分地補(bǔ)償拋光液對(duì)信號(hào)值的貢獻(xiàn)。
聲明:
“在原位電磁感應(yīng)監(jiān)測(cè)中對(duì)漿料組成的補(bǔ)償” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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