本發(fā)明公開(kāi)一種測(cè)試鍍膜厚度的方法,首先在襯底上用記號(hào)筆或油墨筆畫(huà)一道或幾道;然后放在鍍膜室里鍍膜,由于記號(hào)筆或者油墨筆的成分是油性的,濺射時(shí)其他物質(zhì)就很難在襯底上附著和生成;最后,在鍍膜后,將襯底和樣品浸泡在溶解液里,記號(hào)筆或者油墨筆劃過(guò)的墨痕會(huì)反應(yīng)掉,露出一道或者多道清晰的臺(tái)階,這時(shí)候在臺(tái)階儀上就能測(cè)量了。本發(fā)明可以提高鍍膜工藝中對(duì)厚度測(cè)試的精確性和易操作性。本發(fā)明由于不使用掩?；蛘呋瘜W(xué)腐蝕液,可以節(jié)省成本和時(shí)間;記號(hào)筆或者油性筆、乙醇和丙酮等是常備產(chǎn)品,取用和操作便捷;臺(tái)階清晰。