本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于測(cè)試晶體硅體少子壽命的硅片鈍化裝置,包括塑料袋結(jié)構(gòu),所述塑料袋結(jié)構(gòu)包括用于在其內(nèi)部放置硅片的具有防腐蝕性的塑料袋,所述塑料袋的頂端為用于裝入或取出所述硅片的開(kāi)口端,所述開(kāi)口端設(shè)置有能夠?qū)⑺鲩_(kāi)口端密封的封口邊,所述塑料袋的底端設(shè)置有連通所述塑料袋的內(nèi)部的抽注管,所述抽注管的底部設(shè)置有密封塞;該硅片鈍化裝置能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中的化學(xué)鈍化法產(chǎn)生的尋邊困難、容易損害儀器、有污染、測(cè)試后處理不便、無(wú)法控制鈍化液體積的問(wèn)題。
聲明:
“用于測(cè)試晶體硅體少子壽命的硅片鈍化裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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