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真空測(cè)量?jī)x

1131   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:29:10
本發(fā)明提出一種發(fā)射電子的陰極(6),它由裝接到由不銹鋼制成的側(cè)壁(2)上的導(dǎo)電的發(fā)射層(7)和門(9),將該門以很小的距離固定在發(fā)射層(7)的凹入的發(fā)射表面的內(nèi)部。陰極(6)圍繞著一個(gè)反應(yīng)區(qū)域(3),該反應(yīng)區(qū)域包含一個(gè)圓柱形的篩網(wǎng)狀的陽極(5)和一個(gè)位于中心的離子收集器(4),該離子收集器包括一直的軸向細(xì)絲。電流計(jì)(11)測(cè)量反映在反應(yīng)區(qū)域(3)中氣體密度的離子收集器電流(IIC),同時(shí)將門電壓(VG)保持在發(fā)射層(7)的地電壓與較高的陽極電壓(VA)之間,并且調(diào)節(jié)門電壓,其方式使得將陽極電流(IA)保持不變。發(fā)射層(7)可包括碳納米管,金剛石狀的碳,一種金屬或一種金屬混合物,或者一種半導(dǎo)體材料,半導(dǎo)體材料例如是可以比如用碳化物或鉬涂布的硅。然而,發(fā)射表面也可是例如被化學(xué)刻蝕過程變粗糙的側(cè)壁的內(nèi)表面的一部分。門(9)可以是一種篩網(wǎng),或者,它可以包括覆蓋分布在發(fā)射區(qū)上的隔離器的金屬薄膜小片或覆蓋設(shè)置在發(fā)射表面上的電子可穿透層的一層金屬薄膜。
聲明:
“真空測(cè)量?jī)x” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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