本發(fā)明涉及壓電傳感器陣列,特別是一種集成微型壓電諧振式傳感器陣列的
芯片。旨在解決已有壓電傳感器陣列靈敏度較低、精度較差、檢測復(fù)雜、干擾較大等問題。本陣列芯片包含至少兩個壓電諧振片2及其上側(cè)片面上的微電極4,其特征在于有共用的一個絕緣的基片1,在基片上的共用的基電極3與上述各壓電諧振片的下側(cè)片面相接。用于微量和超微量物理量、化學(xué)量和生物量的
分析檢測。
聲明:
“微型壓電諧振式傳感器陣列芯片” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)