本發(fā)明屬于分析化學(xué)中的微全分析系統(tǒng)研究技術(shù)領(lǐng)域,用以在生化反應(yīng)和分離過(guò)程中監(jiān)測(cè)微反應(yīng)體系在運(yùn)行過(guò)程中液體樣品的流動(dòng)分布和變化狀況。其特征是利用熱分布式微流體流量傳感器的工作原理,采用MEMS技術(shù),將金屬薄膜式微型加熱器和溫度傳感器制作在硅杯上,并使之與石英微管道組合構(gòu)成熱分布式微流體流量傳感器;以硅杯作為微型加熱器和溫度傳感器的載體。本發(fā)明的效果和益處是有效防止了加熱器和溫度傳感器與硅襯底之間的熱交換,提高了微流體流量傳感器的測(cè)量靈敏度;設(shè)計(jì)了彎曲蛇形多抽頭溫度傳感器,以獲得在某一確定流速情況下,上下游溫度傳感器間的最大溫差。
聲明:
“基于硅杯結(jié)構(gòu)的熱分布式微流體流量傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)