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利用偏振光確定特征參數(shù)的方法和裝置

821 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 07:31:45

利用光束偏振狀態(tài)變化監(jiān)視固體表面的等離子體反應(在刻蝕或淀積期間)。在等離子體處理期間襯底的物理參數(shù)將發(fā)生變化。所監(jiān)視的光束表征了襯底表面組分的變化和與等離子體處理相關的組分變化。表面反射的光束通過采用橢偏儀測量術但是采用新計算方法的系統(tǒng)分析。光偏振狀態(tài)的周期被用作參照點以實時監(jiān)視表面情況。本發(fā)明還可以用于表面的定量和定性化學分析。

聲明：

“利用偏振光確定特征參數(shù)的方法和裝置” 該技術專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)