本發(fā)明描述了一種包括襯底1和至少一個諧振器的傳感器,所述諧振器包括聲反射器2、壓電層5、第一和第二電極3,4和傳感層(6),其中第一和第二電極3,4被放置在壓電層5的相同側(cè)。傳感層通過吸收、吸附、解吸或化學(xué)反應(yīng)與化學(xué)劑或生物制劑起反應(yīng)。結(jié)果,諧振器的單獨頻率變化并且可以得到關(guān)于所述化學(xué)劑或生物制劑的結(jié)論。這些傳感器對被檢測的作用劑很敏感,特別當(dāng)用于液體中時。
聲明:
“體聲波傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)