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氣體傳感器

1034   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:33:27
一種用于在包括氫或含氫物質(zhì)的氣體中檢測(cè)至少一種非含氫物質(zhì)的場(chǎng)效應(yīng)氣體傳感器(1)。該場(chǎng)效應(yīng)氣體傳感器包括:半導(dǎo)體層(2,3),其具有一個(gè)表面;至少一個(gè)歐姆接觸(8),其接觸該半導(dǎo)體(3);第一電子絕緣層(7),其覆蓋該半導(dǎo)體層的該表面的至少一部分;第二絕緣層(11),其包括一種對(duì)氫或含氫物質(zhì)基本呈化學(xué)惰性的材料,該第二絕緣層接觸該第一電子絕緣層(7)和該半導(dǎo)體層(3)至少之一;至少一個(gè)電氣接觸(12),其接觸該第二絕緣材料(11)且包括一個(gè)導(dǎo)電、半導(dǎo)電和/或離子傳導(dǎo)層。該場(chǎng)效應(yīng)氣體傳感器被配置為使得所述至少一種非含氫物質(zhì)與所述至少一個(gè)電氣接觸的至少一部分的相互作用影響該導(dǎo)電、半導(dǎo)電和/或離子傳導(dǎo)層(12)的功函以及/或者該半導(dǎo)體層(3)中的電場(chǎng),由此該場(chǎng)效應(yīng)氣體傳感器的電流-電壓(I-V)或電容-電壓(C-V)特性被改變,其中I-V或C-V特性的改變提供了關(guān)于所述至少一種非含氫物質(zhì)在該氣體中的存在的信息。該場(chǎng)效應(yīng)氣體傳感器在EGR(廢氣再循環(huán))應(yīng)用中的用途。一種對(duì)氫基本呈化學(xué)惰性的材料在場(chǎng)效應(yīng)氣體傳感器中的用途。
聲明:
“氣體傳感器” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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