一種微型皮拉尼計,屬于微機電系統(tǒng)的真空度測量器件,克服現(xiàn)有微型皮拉尼計體積大、靈敏度不夠高的問題。本發(fā)明在硅襯底上具有凹槽,凹槽表面架有隔熱層,隔熱層表面覆蓋絕緣層,絕緣層上濺射有加熱體,加熱體的兩端濺射有金屬電極;所述加熱體為形狀彎曲的鉑或鎳金屬;所述絕緣層材料為氮化硅或二氧化硅;所述隔熱層材料為二氧化硅、氮化硅中的一種或兩種。本發(fā)明體積小、重量輕而且性能穩(wěn)定,加熱體采用金屬鉑,它的線性度好、性能穩(wěn)定、靈敏度高、有良好的化學穩(wěn)定性;其制造工藝簡單、成本低、成品率高、可靠性高。適用于各種大小真空封裝以及微型腔體中進行真空度實時檢測。
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