本發(fā)明涉及一種采用多層驅(qū)動(dòng)膜結(jié)構(gòu)的微驅(qū)動(dòng)器及其制作方法。它包括具有驅(qū)動(dòng)腔及進(jìn)、出水管道結(jié)構(gòu)的上體、兩個(gè)擴(kuò)張管/收縮管結(jié)構(gòu)的下體及具有Si/SiO₂/Ti/Pt/PZT/Cr/Au的多層驅(qū)動(dòng)膜。在Si材料正面采用濺射Ti/Pt薄膜和光刻的方法制備下電極、溶膠-凝膠工藝制備PZT壓電薄膜,利用蒸發(fā)Cr/Au薄膜和光刻的方法制備上電極,形成以Si薄膜為基底的多層驅(qū)動(dòng)膜結(jié)構(gòu)。微驅(qū)動(dòng)器的上、下體分別采用Si刻蝕工藝制備,并利用Au-Si鍵合技術(shù)焊接,具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、輸出流量大、驅(qū)動(dòng)頻率高、功耗低、壽命長(zhǎng)的特點(diǎn),適合于批量集成制作。可廣泛應(yīng)用于藥物微量傳送、燃料微量噴射、細(xì)胞分離、集成電路冷卻及微量化學(xué)分析等領(lǐng)域。