本發(fā)明公開了屬于精密儀器的一種微小型高壓流體控制閥。該閥主要由中間連接件分別連接致動(dòng)器和閥座,彈性薄膜裝在中間連接件和閥座之間,活動(dòng)閥堵在中間連接件中央的導(dǎo)向孔內(nèi)壓在彈簧膜上面,彈性膜將致動(dòng)部分和流體通道部分隔開,并作為裝配密封件。致動(dòng)器提供閥開關(guān)的動(dòng)力,通過可動(dòng)閥堵使彈性薄膜變形,開啟或封閉流體的出入口,從而實(shí)現(xiàn)閥控功能。根據(jù)致動(dòng)器提供的致動(dòng)力和對(duì)閥堵與薄膜層的預(yù)緊形式,可得到常開或常閉二種控制閥。該閥結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可以較小的致動(dòng)力控制高壓流體,而且閥座部分結(jié)構(gòu)特征為片層,與硅微細(xì)加工工藝兼容。其閥座可以有效的減小死區(qū)流量,提高控制精度,主要用于微型化學(xué)分析儀器,實(shí)現(xiàn)微小流量達(dá)到納升到微升范圍的精確控制。
聲明:
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