一種一體型研磨墊,包括彈性支持層和形成在所述彈性支持層的上方且硬度比所述彈性支持層的硬度更高的研磨層,且所述彈性支持層和所述研磨層是由相互之間具有化學相溶性的材料構(gòu)成,在所述彈性支持層和所述研磨層之間不存在結(jié)構(gòu)性邊界部。另外,本發(fā)明的研磨墊具備對被研磨對象的表面狀態(tài)檢測用光源透明且與其他的研磨墊的結(jié)構(gòu)部件成為一體型的透明區(qū)域。由于本發(fā)明的研磨墊的平坦化效率高、研磨墊的物性均勻,所以在研磨工序中可穩(wěn)定地使用。另外,不會發(fā)生研磨料漿的沉積,移動和輸送容易,并成為一體型,所以不需要用于連接各結(jié)構(gòu)部件的粘接劑或連接工序,從而制造工序變簡單。
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