本發(fā)明提供了半導(dǎo)體裝置及調(diào)節(jié)方法。本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體裝置。該半導(dǎo)體裝置包括被配置為保持晶圓的晶圓卡盤,以及被配置為將第一化學(xué)液體分配到晶圓上的第一噴嘴。該半導(dǎo)體裝置還包括第二噴嘴,該第二噴嘴被配置為在第一噴嘴停止分配第一化學(xué)液體之后于第一分配時(shí)間將第二化學(xué)液體分配在晶圓上。半導(dǎo)體裝置還包括被配置為順序地拍攝第一噴嘴和第二噴嘴的圖像的圖像器件,以及被配置為分析圖像的處理模塊。當(dāng)?shù)谝蝗毕輬D像示出第一化學(xué)液體和第二化學(xué)液體存在于靠近第一噴嘴和第二噴嘴的空間中且流向晶圓時(shí),處理模塊調(diào)節(jié)第一分配時(shí)間。
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