本發(fā)明屬于柔性應(yīng)變傳感器制作領(lǐng)域,柔性應(yīng)變傳感器需具備良好的延展性、高的靈敏度、寬檢測范圍,現(xiàn)有的高靈敏的柔性應(yīng)變傳感器存在檢測范圍低,制作方法復(fù)雜等問題;而具有較大的檢測范圍的應(yīng)變傳感器存在靈敏度低,檢測下限高等問題,本發(fā)明提供一種高靈敏度柔性應(yīng)變傳感器的制作方法,通過等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng),利用三維化二維材料力學(xué)性能和網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),使網(wǎng)狀基底上的三維化二維材料為基礎(chǔ)制作的傳感材料在受到應(yīng)力而導(dǎo)致應(yīng)變時(shí)產(chǎn)生應(yīng)變集中效果,產(chǎn)生敏感的拉力響應(yīng),實(shí)現(xiàn)對傳感材料的微小應(yīng)變的檢測,提升了應(yīng)變傳感材料的靈敏度和力學(xué)性能,實(shí)現(xiàn)更大范圍的應(yīng)變響應(yīng)。
聲明:
“高靈敏度柔性應(yīng)變傳感器的制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)