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海水溫度和壓力集成的片式傳感器芯片的制造方法

1023   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:45:48
一種海水溫度和壓力集成的片式傳感器芯片的制造方法,包括以下步驟:a、化學清洗;b、激光打孔;c、絲網(wǎng)印刷圖形;d、烘干;e、印刷玻璃燒結(jié)料;f、一次燒結(jié);g、二次燒結(jié);h、激光調(diào)阻;i、三次燒結(jié);j、將鉑內(nèi)引線點焊到電子檢測裝置的金屬引線柱上,制造出能夠檢測海水溫度和壓力的傳感器;本發(fā)明傳感器芯片結(jié)構(gòu)緊湊,小型便攜,靈敏精確,將溫度和壓力傳感器集成在一起,能同時測量兩個參數(shù)并降低生產(chǎn)成本,在海水中下潛速度快,測量效率高。
聲明:
“海水溫度和壓力集成的片式傳感器芯片的制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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