本發(fā)明公開了一種多孔氮化鎵基室溫氣體傳感器的制備方法,該傳感器所用氮化鎵薄膜可通過金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積和氫化物氣相外延法生長于藍(lán)寶石襯底上,表面經(jīng)金屬催化化學(xué)腐蝕法獲得孔徑可調(diào)的納米微孔,隨后經(jīng)1,2?乙二硫醇(EDT)鈍化處理后,利用物理沉積法在表面負(fù)載高分散鉑(Pt)納米顆粒。經(jīng)該方法處理的材料具有比表面積大、活性中心穩(wěn)定、傳質(zhì)通道多,而且成本較低,易于批量制備等優(yōu)點(diǎn)。該基于以鉑納米粒子修飾的硫化物鈍化多孔GaN材料半導(dǎo)體傳感器,可以在室溫溫區(qū)同時檢測H
2,H
2S和C
2H
4等多種氣體,H
2極限靈敏度可達(dá)65%以上??稍谖锫?lián)網(wǎng)(IoT)生態(tài)系統(tǒng)中的物理設(shè)備廣泛應(yīng)用。
聲明:
“多孔氮化鎵基室溫氣體傳感器的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)