本專利涉及一種多功能氣體循環(huán)凈化裝置。此裝置包含一個凈化塔和一個干燥塔,增壓泵、壓力表、流量計、進氣閥、中間閥、出氣閥、檢測閥,用于固定凈化塔、干燥塔的框架及相關配件。其中各個部件之間通過閥門、管道的連通形成閉合氣體回路,內部循環(huán)凈化,無需外部高純氣體的不斷充入。凈化塔可根據需要放置不同的化學試劑來除去相應氣體,干燥塔中的化學試劑可循環(huán)重復使用。干燥塔具有除水劑再生系統(tǒng),可根據實際情況進行再生。凈化塔與干燥塔之間通過進氣閥與中間閥控制,可獨立形成凈化回路和干燥塔再生氣路。此裝置既能解決氣體凈化過程需要不斷外部注入高純氣體的問題、降低凈化成本,又能保證循環(huán)凈化干燥、深度凈化、深度干燥。
聲明:
“多功能氣體凈化儀” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)