一種可調(diào)諧三角形金屬納米粒子陣列結(jié)構(gòu)的制作方法,步驟:(1)根據(jù)透射波長(zhǎng)的需要選擇合適型號(hào)的基底,對(duì)基底進(jìn)行清洗、親水化處理;(2)在基底表面均勻的自組裝一層納米球;(3)采用反應(yīng)離子刻蝕機(jī)RIE工藝對(duì)制作的納米球自組裝層進(jìn)行刻蝕,改變納米球的間隙的尺寸大小;(4)利用刻蝕后的納米球自組裝作為模具,在球與球之間的間隙處填充金屬;(5)通過(guò)Lift?off工藝去除納米球自組裝層,得到陣列化的金屬納米結(jié)構(gòu)
芯片。本發(fā)明制作的金屬納米結(jié)構(gòu)芯片的光學(xué)性質(zhì)可控,可應(yīng)用于局域表面等離子體共振(LSPR)傳感、表面增強(qiáng)拉曼光譜(SERS)探測(cè)領(lǐng)域,實(shí)現(xiàn)生物、化學(xué)分子的快速檢測(cè)。
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