本實(shí)用新型提供一種基于
石墨烯的中紅外高靈敏度電可調(diào)傳感器,其組成包括:摻雜硅基板(1)、SiO2介質(zhì)基板(2)、石墨烯層(3)、直流電源(4)、Au電極(5a、5b)、橢圓形凹槽(6)、矩形凹槽(7);所述石墨烯層和所述摻雜硅基板至少覆蓋所述測(cè)試電極。本實(shí)用新型的基于石墨烯的中紅外高靈敏度電可調(diào)傳感器采用“金屬?介質(zhì)?金屬”結(jié)構(gòu),整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,以便降低批量制造的難度和成本;本實(shí)用新型的基于石墨烯的中紅外高靈敏度電可調(diào)傳感器對(duì)常見(jiàn)污染氣體具有較高的靈敏度和品質(zhì)因數(shù),結(jié)合諧振腔提高檢測(cè)的性能;本實(shí)用新型的基于石墨烯的中紅外高靈敏度電可調(diào)傳感器具有性能可調(diào)性和工作頻段可調(diào)性,利用所述電極和所述外加直流電源,從而改變石墨烯的化學(xué)勢(shì)而改變諧振模式。
聲明:
“基于石墨烯的中紅外高靈敏度電可調(diào)傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)