本發(fā)明公開了一種硅片切割廢砂漿制造復(fù)合硅碳球的方法,首先將硅片切割時產(chǎn)生的廢砂漿進(jìn)行回收,將聚乙二醇提取出來另用,剩余的含有碳化硅和硅粉的漿料制成濾餅,晾曬至水分小于10%后,破碎成粒度小于3mm的顆粒料,經(jīng)化學(xué)分析確定其中的總硅含量后分類庫存待用;稱取粘合劑和潤濕劑,與顆粒料混合后制成粒徑小于50mm的坯料,入爐烘焙,待其水分小于2%時冷卻出爐,得到理化指標(biāo)為:TSi=30~70%,Tc=10~25%,S≤0.1%,H2O≤2%的復(fù)合硅碳球成品。本發(fā)明制造工藝簡單,實現(xiàn)了硅片切割加工過程中產(chǎn)生的副產(chǎn)品-廢砂漿中所含資源的綜合利用,大大減少了環(huán)境污染,產(chǎn)生了較大的經(jīng)濟(jì)效益和社會效益。
聲明:
“硅片切割廢砂漿制造復(fù)合硅碳球的方法及其應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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