本發(fā)明公開了一種納米薄膜的原子層沉積工藝的定量建模方法,該建模方法以流體動(dòng)力學(xué)理論為基礎(chǔ),包括以下步驟:(1)構(gòu)建原子層沉積工藝進(jìn)行的流體域結(jié)構(gòu)模型;(2)初始邊界條件設(shè)置;(3)有機(jī)金屬化合物的理化屬性計(jì)算;(4)多組分的氣質(zhì)傳輸過程設(shè)置;(5)表面化學(xué)反應(yīng)設(shè)置;(6)瞬態(tài)脈沖工藝過程設(shè)置;(7)瞬態(tài)吹洗工藝過程設(shè)置;(8)獲取定量反應(yīng)和表面薄膜生長速率。按照本發(fā)明的建模方法,可定量描述表面沉積過程中的物質(zhì)消耗和薄膜生長,適合用于材料利用率和薄膜沉積效率等相關(guān)因素分析,而該建模方法針對(duì)于原子層沉積工藝特征可普適于不同結(jié)構(gòu)的原子層沉積系統(tǒng)。
聲明:
“納米薄膜的原子層沉積定量建模方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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