本發(fā)明涉及一種光驅(qū)動微流體泵,在光能和機械能之間轉(zhuǎn)換,由下往上依次包括出入口層、泵腔層、微線柵陣列驅(qū)動單元和基片;出入口層設(shè)有入口和出口;泵腔層包括泵腔和可形變的振膜;微線柵陣列驅(qū)動單元包括周期為百納米級的微線柵陣列,微線柵陣列由柵脊和柵谷構(gòu)成且為形狀記憶材料偶氮苯液晶彈性體。本發(fā)明周期性的改變照射光種類和光強,可精確控制微流體泵泵腔容積周期性的變化,從而產(chǎn)生連續(xù)的差量流動。具有響應(yīng)速度快、工作頻率高、能耗小、驅(qū)動量大等優(yōu)點;可精確控制流量,能夠應(yīng)用在細胞分離、流體微量配給、藥物微量注射、微量化學(xué)分析等領(lǐng)域;器件制造可采用MEMS加工工藝,與IC制造工藝兼容,適合批量生產(chǎn)。
聲明:
“光驅(qū)動微流體泵” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)