根據(jù)實(shí)施方式,本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N判定方法。判定方法對(duì)在使包含硅及鹵素的物質(zhì)反應(yīng)或者使包含硅的物質(zhì)與包含鹵素的物質(zhì)反應(yīng)的工序中產(chǎn)生的副產(chǎn)物的處理的進(jìn)行判定。副產(chǎn)物的處理包括使包含水的處理液與副產(chǎn)物接觸而得到第一固形物。判定方法包括基于關(guān)于第一固形物的Si?α鍵(α為選自由F、Cl、Br及I構(gòu)成的組中的至少1種)及Si?H鍵中的至少一者的利用化學(xué)分析的信號(hào)來判定副產(chǎn)物的處理的進(jìn)行。
聲明:
“判定方法及處理方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)