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多孔硅納米線NO2氣體傳感器的制備方法

1023 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 08:04:03

本發(fā)明公開了屬于氣體傳感器技術領域的一種多孔硅納米線NO2氣體傳感器的制備方法。該方法首先利用金屬銀催化化學腐蝕，在硅片表面制備出多孔硅納米線，再通過金屬鹽溶液浸泡或者磁控濺射的方法，在多孔硅納米線表面修飾一層Ag納米顆粒，得到的薄膜樣品接上Ag電極和Ag導線后，可作為檢測NO2氣體的氣敏傳感器。在一定的電壓下，當氣體環(huán)境中通入NO2時，傳感器的電阻值明顯下降；去除NO2氣體重新通入空氣后，傳感器的電阻值可以回升。本方法制備的NO2氣敏傳感器具有靈敏度高，成本低，環(huán)境穩(wěn)定性好的特點，在NO2氣體中器件的電阻值變化可達30％以上，具有實際應用的價值。

聲明：

“多孔硅納米線NO2氣體傳感器的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)