本發(fā)明公開了一種光纖氫氣傳感器用氫敏材料及其制備方法。該薄膜材料包括基底和合金薄膜;基底的材料為金屬、半導(dǎo)體或絕緣體材料;合金薄膜材料基本成分為Pd和Y,化學(xué)組成為Pd[1-x-y]Y[x]α[y],其中α為Pt、Ag、Au、Ni、Cu、Al、Li和B中的任一種,或者為La、Ru、Ce、Pr、Nd和Pm中的至少一種,0<x≤0.3,0≤y≤0.3;合金薄膜材料厚度2~1000nm。制備方法,首先用感應(yīng)熔煉或
粉末冶金方法預(yù)制合金靶,然后通過物理氣相層積方法,在基片上制成合金薄膜材料;或者利用多個(gè)純靶材,直接在基片材料上多靶共濺層積,制成合金薄膜材料。光纖氫氣傳感器具有抗干擾能力強(qiáng),安全性好,可靠性高的特點(diǎn)??蓮V泛用于各種需要檢測(cè)氫氣泄露的情況。
聲明:
“光纖氫氣傳感器用氫敏材料及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)