本發(fā)明公開了一種不同階模態(tài)耦合的模態(tài)局部化微質(zhì)量傳感器，屬于微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域，包括：厚度不等的第一固支梁和第二固支梁；第一固定端對(duì)稱分布于第一固支梁兩端，第二固定端對(duì)稱分布于第二固支梁兩端；上耦合電極固定在第一固支梁的下表面，下耦合電極固定在第二固支梁的上表面；上耦合電極與下耦合電極之間由直流電壓構(gòu)成靜電耦合；第一固支梁由驅(qū)動(dòng)電源通過驅(qū)動(dòng)電極驅(qū)動(dòng)；當(dāng)調(diào)節(jié)第一固支梁和第二固支梁的厚度為預(yù)設(shè)值，并通過驅(qū)動(dòng)電壓對(duì)第一固支梁驅(qū)動(dòng)以及耦合電壓產(chǎn)生靜電耦合時(shí)，第一固支梁工作在三階模態(tài)，第二固支梁工作在二階模態(tài)。相較于傳統(tǒng)的激勵(lì)一階模態(tài)的傳感器，本發(fā)明的靈敏度更高，可用于檢測病毒、蛋白質(zhì)、化學(xué)藥品等物質(zhì)。