本申請(qǐng)公開了
石墨烯應(yīng)變傳感器及石墨烯應(yīng)變傳感器的制備方法,該石墨烯應(yīng)變傳感器中的導(dǎo)電層包括由兩個(gè)或者兩個(gè)以上多層石墨烯單元形成的堆疊結(jié)構(gòu)。該石墨烯應(yīng)變傳感器中的多層石墨烯單元通過常壓化學(xué)氣相沉積法制備,并利用蝕刻液除去多層石墨烯單元的生長襯底,得到自支撐多層石墨烯單元;將自支撐多層石墨烯單元轉(zhuǎn)移至另一搭載有多層石墨烯單元的生長襯底,如此循環(huán),可以得到兩個(gè)或兩個(gè)以上多層石墨烯單元形成的堆疊結(jié)構(gòu),作為石墨烯應(yīng)變傳感器的導(dǎo)電層。本申請(qǐng)?zhí)峁┑氖?yīng)變傳感器既具有較寬的檢測(cè)范圍,又具有較高的靈敏度。
聲明:
“石墨烯應(yīng)變傳感器及石墨烯應(yīng)變傳感器的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)