本發(fā)明提出一種帶光路的勻膠機(jī),包括勻膠機(jī)本體,勻膠機(jī)本體包括第一機(jī)座、第二機(jī)和涂膜工作基座,第二機(jī)座內(nèi)部設(shè)有光路氣路多用途旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),第一機(jī)座的內(nèi)腔頂部設(shè)有光源組件,涂膜工作基座內(nèi)部的工作腔底部設(shè)有排氣管。本發(fā)明可在旋涂過程中吸收光譜、熒光光譜和反射光譜的動(dòng)態(tài)變化,用于跟蹤溶劑揮發(fā)、溶劑退火、熱退火過程中的材料相變,并在化學(xué)反應(yīng)動(dòng)力學(xué)、生化過程的跟蹤檢測方面具有優(yōu)勢,排氣泵機(jī)通過多條對(duì)稱設(shè)置的導(dǎo)氣管使得排氣管進(jìn)行抽氣工作,而由于排氣管座頂部開設(shè)有呈圓環(huán)形的排氣槽口,且排氣管與涂膜工作基座的工作腔呈同軸度設(shè)置,排氣過程中,排氣均勻,不產(chǎn)生氣流紊亂,保證基片上涂膜的精度。
聲明:
“帶光路的勻膠機(jī)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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