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鍵合設備的晶圓傳送位置監(jiān)控方法

923 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 08:08:40

本發(fā)明提供一種鍵合設備的晶圓傳送位置監(jiān)控方法，包括：提供兩片晶圓；對其中一片晶圓的邊緣進行修邊處理，以在該片晶圓的邊沿向內(nèi)形成預定寬度的環(huán)形凹槽；在該片晶圓的環(huán)形凹槽所在表面生長氧化層且不覆蓋環(huán)形凹槽；對氧化層進行化學機械研磨減薄及表面平整化處理；對減薄及表面平整化的氧化層進行表面清洗；在鍵合設備上將該片晶圓與另一片晶圓通過經(jīng)清洗后的氧化層進行鍵合形成鍵合晶圓；對鍵合晶圓進行退火處理；對退火后的鍵合晶圓進行超聲波掃描顯微鏡檢測，通過鍵合晶圓的夾槽寬度是否相同，判斷鍵合設備上傳送的兩片晶圓的相對位置是否發(fā)生偏移，以對鍵合設備的晶圓傳送位置進行監(jiān)控。本發(fā)明能夠對鍵合設備的晶圓傳送位置進行監(jiān)控。

聲明：

“鍵合設備的晶圓傳送位置監(jiān)控方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)