本發(fā)明公開了一種基于嵌入式薄膜的諧振式氣體傳感器及其制造工藝,涉及傳感器技術(shù)領(lǐng)域,包括硅基板、硅柵極、硅懸臂梁、金屬鋁電極、壓電傳感器、氣體分子與聚合物結(jié)構(gòu),所述硅基板的表面設(shè)置有硅柵極與硅懸臂梁,所述硅柵極與硅懸臂梁耦合,所述硅懸臂梁的末端設(shè)置有壓電傳感器,所述壓電傳感器的兩側(cè)分別設(shè)置有金屬鋁電極,該基于嵌入式薄膜的諧振式氣體傳感器及其制造工藝,通過利用在諧振式傳感器的硅柵極內(nèi)嵌入式薄膜,通過薄膜吸收氣體后產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力來影響懸臂梁的共振頻率,提高了氣體檢測(cè)靈敏度和線性度,通過更換嵌入的薄膜材料,從而可以制備傳感器陣列實(shí)現(xiàn)多種化學(xué)氣體的高效響應(yīng)。
聲明:
“基于嵌入式薄膜的諧振式氣體傳感器及其制造工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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