本發(fā)明公開了一種基于光彈性原理的柔性微探針及其使用方法,本發(fā)明所述的基于光彈性原理的柔性微探針為以SU-8膠為材料的整體結(jié)構(gòu),包括微探針受力端和微探針基體,所述微探針基體包括基體端部和基體尾部,所述基體端部和微探針受力端設(shè)置于基體尾部的同一側(cè),形成微探針結(jié)構(gòu),通過測量透過柔性鉸鏈應(yīng)力測量區(qū)與測量光路的偏振光光強改變量,建立起與微探針受力端處所受力的大小的關(guān)系,即可實現(xiàn)微力的測量。本發(fā)明以SU-8膠為微探針材料,加工工藝成本低、穩(wěn)定性強,具有抗化學腐蝕性、良好的力學性能和生物兼容性、光應(yīng)力系數(shù)大等優(yōu)點。并且本發(fā)明為整體結(jié)構(gòu),無需裝配,制作簡單,有助于實現(xiàn)生物醫(yī)學、材料化學等領(lǐng)域微操作技術(shù)的實用化。
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“基于光彈性原理的柔性微探針及其使用方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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