本發(fā)明公開了一種金屬和晶體氣密性封裝的光窗結(jié)構(gòu)制造方法,其制造方法包括:(1)具有腔體的金屬成型件:除油清洗、鍍鎳、烘干;(2)晶體鏡片局部處理:掩膜、化學(xué)法腐蝕粗化、粗化部位極化、化學(xué)鍍鎳、電鍍錫、烘干、切割分片;(3)夾具:按照零件尺寸精度加工夾具;(4)封接:將金屬成型件和晶體鏡片放置在夾具上,在燒結(jié)爐中250?300攝氏度烘烤15?20分鐘形成成品。(5)測(cè)試:測(cè)試成品的結(jié)合強(qiáng)度、氣密性。本發(fā)明采用了將晶體鏡片局部掩膜、腐蝕粗化、電鍍的方法形成金屬過渡層,然后通過低溫錫焊的方法,將晶體光窗和金屬成型件之管帽或腔體熔焊的方法來達(dá)到氣密性封接。從而有效避免了因材料膨脹系數(shù)匹配問題帶來的諸多技術(shù)難點(diǎn)。
聲明:
“金屬和晶體氣密性封裝的光窗結(jié)構(gòu)制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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