本發(fā)明公開了一種多晶硅還原爐內(nèi)硅棒生長(zhǎng)速率預(yù)估模型，包括數(shù)據(jù)采集及預(yù)處理模塊，用于通過傳感器采集與硅棒生長(zhǎng)速率相關(guān)的數(shù)據(jù)，并對(duì)采集的數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)據(jù)清洗；數(shù)據(jù)集篩選模塊，用于對(duì)數(shù)據(jù)采集模塊經(jīng)過數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)清洗后的數(shù)據(jù)集進(jìn)行篩選，得到訓(xùn)練集和測(cè)試集；訓(xùn)練和評(píng)估模塊，用于對(duì)梯度提升決策樹模型進(jìn)行訓(xùn)練，利用平均相對(duì)誤差以及合格率對(duì)模型進(jìn)行評(píng)估，待預(yù)測(cè)模塊，用于輸入待預(yù)測(cè)特征向量；預(yù)測(cè)結(jié)果模塊，用于將所述的待預(yù)測(cè)特征向量輸入到預(yù)測(cè)模型中，輸出預(yù)測(cè)結(jié)果。本發(fā)明摒棄了傳統(tǒng)的理論研究中復(fù)雜化學(xué)反應(yīng)對(duì)生長(zhǎng)速率的影響，不用考慮繁復(fù)的化學(xué)反應(yīng)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)多晶硅生長(zhǎng)速率的預(yù)估，為提高生產(chǎn)效率，縮短生產(chǎn)周期提供指導(dǎo)。