本發(fā)明公開一種適用于表面附著物為Ceramic部品的清洗方法,該方法包括下述步驟:S1、化學(xué)清洗:采用氨水雙氧水溶液對工件進(jìn)行浸泡處理,采用的氨水雙氧水溶液為體積比為H2O2:H2O:NH4OH=(2.5?3.5):(3.5?4.5):(0.5?1.5)配制而成;S2、純水漂洗;S3、采用硝氟酸進(jìn)行中和反應(yīng),采用的硝氟酸采用硝酸和氫氟酸配比而成,配比時(shí),各溶液的體積比為HNO3:HF:H2O=(17~23):(0.5~1.5):(17~23);S4、擦洗;S5、將工件在DI?Water中常溫浸泡10分鐘以上;S6、工件表面PH測試;S7、超聲波震蕩清洗;S8、工件表面PH測試;S9、CDA吹干;S10、超聲波震蕩清洗;S11、加熱干燥;S12、自然冷卻。
聲明:
“適用于表面附著物為Ceramic部品的清洗方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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