本發(fā)明公開(kāi)了一種圖形結(jié)構(gòu)的制造方法，包括步驟：步驟一、涂布光刻膠；步驟二、進(jìn)行灰度曝光和顯影形成光刻膠條形的具有高度逐漸變化的分布結(jié)構(gòu)的光刻膠圖形結(jié)構(gòu)；步驟三、進(jìn)行刻蝕將各光刻膠條形的高度逐漸變化的分布結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到各第一工藝層條形上；步驟四、形成第二工藝層；步驟五、進(jìn)行化學(xué)機(jī)械研磨工藝形成由填充于溝槽中的第二工藝層和溝槽之間的第一工藝層條形組成第二圖形結(jié)構(gòu)；各第一工藝層條形的高度逐漸變化的分布結(jié)構(gòu)在化學(xué)機(jī)械研磨工藝中抵消化學(xué)機(jī)械研磨工藝所產(chǎn)生的侵蝕。本發(fā)明能減少化學(xué)機(jī)械研磨工藝對(duì)圖形結(jié)構(gòu)產(chǎn)生磨損，使圖形結(jié)構(gòu)對(duì)比清晰結(jié)構(gòu)完整，圖形結(jié)構(gòu)能為光刻標(biāo)識(shí)，從而能提高對(duì)準(zhǔn)精度和量測(cè)準(zhǔn)確度，提高工藝可靠性。