本發(fā)明涉及一種多晶化學(xué)氣相沉積的(CVD)金剛石晶圓，其包括：最大線性尺寸等于或大于70mm；厚度等于或大于1.3mm；以及在室溫(標(biāo)稱的298K)下測量的、多晶CVD金剛石晶圓的至少中心區(qū)域上的以下特征中的一個或兩個：在10.6μm下吸收系數(shù)≤0.2cm-1；和在145GHz下介電損失系數(shù)為tanδ≤2×10-4，所述中心區(qū)域是圓形的，以多晶CVD金剛石晶圓的中心點為中心，并且具有的直徑為多晶CVD金剛石晶圓的最大線性尺寸的至少70％。