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制程工藝參數(shù)的反饋控制方法

897 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 08:20:17

本發(fā)明提供了一種制程工藝參數(shù)的反饋控制方法，應用于化學機械研磨工藝，包括：獲取一待研磨晶圓的第一產(chǎn)品信息并發(fā)送至自動化程序控制設備；先進工藝控制設備根據(jù)第一產(chǎn)品信息以及一標準研磨速率處理獲得待研磨晶圓的研磨時間并反饋至自動化程序控制設備；自動化程序控制設備根據(jù)研磨時間生成調(diào)節(jié)指令化學機械研磨設備，根據(jù)調(diào)節(jié)指令調(diào)節(jié)待研磨晶圓的研磨時間；在當前的待研磨晶圓研磨完成后，獲得研磨完成后的晶圓的金屬膜厚度的量測值；先進工藝控制設備根據(jù)量測值處理獲得研磨速率，將處理獲得的研磨速率配置為標準研磨速率。其技術方案的有益效果在于，可有效解決導致金屬膜偏差問題，以達到先進工藝對金屬膜研磨制程工藝的要求。

聲明：

“制程工藝參數(shù)的反饋控制方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)