本發(fā)明公開了一種高效、高精度溫控紅外石英加熱器。包括鹵鎢燈、吹掃組件、石英加熱組件、溫度傳感器和控制器,石英加熱組件的兩端各安裝有吹掃組件,石英加熱組件的內(nèi)部安裝有鹵鎢燈,鹵鎢燈的兩端分別與石英加熱組件兩端的吹掃組件相連,石英加熱組件內(nèi)設(shè)置有加熱液,溫度傳感器固定安裝在石英加熱組件的加熱液出口處,溫度傳感器和鹵鎢燈均與控制器相連。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明可以精確測量加熱液溫度,提高加熱效率并且通過吹掃組件延長鹵鎢燈壽命,節(jié)約更換燈管的經(jīng)濟(jì)成本和時間成本。化學(xué)品液體潤濕表面均為半導(dǎo)體級石英玻璃,耐腐蝕能力強(qiáng),能夠滿足半導(dǎo)體濕法處理領(lǐng)域所需化學(xué)品的高潔凈度、快速響應(yīng)等加熱需求。
聲明:
“高效、高精度紅外石英加熱器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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