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結(jié)構(gòu)優(yōu)化的半導(dǎo)體沉積用前驅(qū)體容器

1128   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:23:06
本實用新型提供了一種結(jié)構(gòu)優(yōu)化的半導(dǎo)體沉積用前驅(qū)體容器,包括進(jìn)口管路、出口管路、吹掃管路、導(dǎo)波雷達(dá)液位計以及容器,容器內(nèi)壁經(jīng)過鈍化處理;進(jìn)口管路與出口管路均與容器內(nèi)部連通,吹掃管路連通進(jìn)口管路與出口管路;導(dǎo)波雷達(dá)液位計設(shè)置在容器上,導(dǎo)波雷達(dá)液位計通過連接件連接容器;進(jìn)口管路上在進(jìn)口管路與吹掃管路的連接點和進(jìn)口管路的兩端之間均設(shè)置有閥門,出口管路上在出口管路與吹掃管路的連接點和出口管路的兩端之間均設(shè)置有閥門,吹掃管路上設(shè)置有閥門。本實用新型有效減少生產(chǎn)管路中化學(xué)品的殘留,避免了顆粒物的產(chǎn)生,提高了生產(chǎn)的穩(wěn)定性和良品率;采用導(dǎo)波雷達(dá)液位計能夠精確測量化學(xué)品液位,增加產(chǎn)品使用率,提高生產(chǎn)管理效率。
聲明:
“結(jié)構(gòu)優(yōu)化的半導(dǎo)體沉積用前驅(qū)體容器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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