一種基于多孔硅的熱整流元件,涉及熱整流元件。設(shè)有硅基片,在硅基片的非拋光面通過(guò)磁控濺射的方法鍍一層鋁膜,通過(guò)
電化學(xué)腐蝕法在硅基片的拋光面腐蝕形成多孔硅層。通過(guò)電化學(xué)腐蝕法制備多孔硅,得到一個(gè)非對(duì)稱(chēng)性結(jié)構(gòu)的元件,通過(guò)NETZSCH公司的LFA?457對(duì)元件在100~600℃條件下的熱擴(kuò)散系數(shù)進(jìn)行測(cè)量,最后經(jīng)過(guò)簡(jiǎn)單計(jì)算得到這種非對(duì)稱(chēng)性結(jié)構(gòu)的熱整流系數(shù)。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制作工藝成熟、價(jià)格低廉,彌補(bǔ)了現(xiàn)有的以多孔硅作為熱整流元件的不足,在較高溫度下具有熱整流效應(yīng),大大擴(kuò)展了多孔硅作為熱整流元件的應(yīng)用范圍。
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“基于多孔硅的熱整流元件” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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