本實(shí)用新型提供一種具有濃度自調(diào)節(jié)功能的濕法清洗設(shè)備，包括：清洗槽、補(bǔ)給管路、濃度監(jiān)測(cè)裝置及控制裝置；清洗槽用于承載清洗液及待清洗件；補(bǔ)給管路一端與清洗槽相連通，另一端與補(bǔ)給源相連接，補(bǔ)給管路上設(shè)置有電動(dòng)閥；濃度監(jiān)測(cè)裝置位于清洗槽內(nèi)；控制裝置與濃度監(jiān)測(cè)裝置及電動(dòng)閥相連接，以基于濃度監(jiān)測(cè)裝置的監(jiān)測(cè)結(jié)果控制電動(dòng)閥的通斷，由此向清洗槽內(nèi)補(bǔ)充所需的化學(xué)液，以將清洗槽內(nèi)的清洗液濃度維持在預(yù)設(shè)值。本實(shí)用新型對(duì)清洗槽的清洗液濃度進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，以將清洗液的濃度維持在預(yù)設(shè)值，有助于確保清洗質(zhì)量，提高批次內(nèi)及批次間的晶圓清洗質(zhì)量的均勻性；通過(guò)有效延長(zhǎng)清洗液的清洗壽命，可以有效降低清洗成本，減少清洗液的排放。